精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；
對于其他氣體，增加轉換不確定性；

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產品詳情

技術參數(shù)

流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500毫升/分鐘

Max.0…20 ln/min（基于N2）

壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）

精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；

對于其他氣體，增加轉換不確定性；

重復性：

流量傳感器：<±0,2%Rd；

壓力傳感器：<±0,2%FS

減速比：高達1:1000

工作壓力：max.16 bar g

22種氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數(shù)據(jù)

響應時間（傳感器）：<30 ms（T63）

3年內長期穩(wěn)定性：<0,5%FS；則每年<0,2%FS

安裝任何：位置，姿態(tài)靈敏度可忽略不計

溫度靈敏度流量傳感器：零00015%FS/oC；量程0,03%Rd/oC；

壓力傳感器：零0,16 mbar/oC；量程0,05%Rd/oC

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精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達&#177;0,5%Rd plus&#177;0,1%FS（N2/空氣/O2）；對于其他氣體，增加轉換不確定性；